仪器检测服务

在市场上，无尘布品种多样，用途广泛，价格更是高低不平，客户在采购无尘布时主要通过无尘布的材质、吸收率等来评估无尘布性能和费用。

而在半导体行业的洁净室中对无尘布尘粒、离子、ESD等有很高的要求。硕源科技为此提供了一些评估无尘布的方法。

无尘布需进行严格检测以达到性能要求和污染控制标准，一般无尘布需进行以下检测：

1、抗磨损性检测

通常，抗磨损性检测属于布料物理性质的检测。但在无尘布的检测中，因为磨损的过程会产生尘粒，因此，将无尘布的抗磨损性检测归纳为污染控制范围更合适。

检测标准：抗磨损性越强越不容易产生尘粒。

2、克重

根据ASTM-D-3776检测无尘布单位面积的重量

参考检测标准：一般要求在150-300g/㎡

3、吸液量和吸液速度

根据IEST-RP-CC004.3第8节要求，需检测无尘布的吸收量和吸收速率。

吸液量反映的是单位面积的无尘擦拭布的吸收液体的毫升数。

吸液速率是指无尘布吸收10ml液体所需的时间。

以上两种测量都须测量三次并计算平均值

*参考检测标准：吸液量一般不小于400g/㎡

吸液速度一般不大于1秒。

4、IC检测

根据IEST-RP-CC004.3第7.2节要求，定性定量地测量无机阴阳离子含量。

参考检测标准，在磁头行业，一般要求CL-≤0.03ug/c㎡;SO42-≤0.03ug/c㎡;NO3-≤0.03ugc㎡;Total:<1.0ug/c㎡

5、NVR检测

根据IEST-RP-CC004.3第7.1节要求,检测单位面积上的无挥发性残留物。

NVR检测是将无尘布浸泡于一定量的溶剂中一定量的时间，然后将无尘布取出，检测溶于溶剂中的无挥发性残留物的质量。

参考检测标准：在磁头行业，一般要求<3.0ug/c㎡

6、LPC检测

根据IEST-RP-CC004.3第6.2.1节的要求，对无尘布进行LPC检测。

LPC可检测无尘布上的液态尘粒数。

LPC检测是将无尘布浸泡在一定量的DI水中，经过超声波振荡，检测DI水中的尘粒浓度。*参考检测标准：在磁头行业，一般要求<30counts/c㎡

检测流程

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