检测范围：

光聚合型光刻胶、光分解型光刻胶、光交联型光刻胶、含硅光刻胶光刻胶等。

检测项目：

化学成分分析、配方分析、核磁分析、FTIR红外分析、GC-MS分析、X荧光分析等。

依据检测标准

ASTM F581-78(1991)e1 光刻胶加速老化的实施规程

IPC MI-660 5.3-1984 干电影光刻胶

GOST R 52250-2004 电子工程材料.光刻工艺抗蚀剂.通用规范

检测流程

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