GB/T15862-2012离子注入机通用规范

2023-09-01

标准简介:本标准规定了离子注入机的术语、产品分类、技术要求、试验、检验规则和标志、包装、运输、贮存。本标准适用于半导体工艺用电能离子注入机。其他离子注入机亦可参照使用。

标准号:GB/T 15862-2012

标准名称:离子注入机通用规范

英文名称:General specification of ion implantation equipment

标准类型:国家标准

标准性质:推荐性

标准状态:现行

发布日期:2012-11-05

实施日期:2013-02-15

中国标准分类号(CCS):电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L97加工专用设备

国际标准分类号(ICS):31-550

替代以下标准:替代GB/T 15862-1995

起草单位:中国电子科技集团公司第四十八研究所

归口单位:中国电子技术标准化研究所

发布单位:国家质量监督检验检疫.

检测流程

检测流程

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