标准编号：GB/T 14139-2009硅外延片

标准状态：现行

标准简介：本标准规定了硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法和检验规则及标志、包装运输、贮存等。本标准适用于在N 型硅抛光片衬底上生长的n型外延层(N/N+ )和在p型硅抛光片衬底上生长的P型外延层(P/P+ )的同质硅外延片。产品主要用于制作硅半导体器件。其他类型的硅外延片可参照使用。

英文名称： Silicon epitaxial wafers

替代情况： 替代GB/T 14139-1993;被GB/T 14139-2019代替

中标分类： 冶金>>半金属与半导体材料>>H80半金属与半导体材料综合

ICS分类： 电气工程>>29.045半导体材料

发布部门： 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会

发布日期： 2009-10-30

实施日期： 2010-06-01

作废日期： 2020-05-01

首发日期： 1993-02-06

提出单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会

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