GB/T 38614-2020.Measurement method for nano positioning and scanning stage based on flexure hinge mechanism and piezo actuator.
1范围
GB/T 38614规定了基于柔性铰链机构和压电陶瓷驱动器的纳米定位与扫描平台(以下简称为平台)的测量条件、测量系统和测量方法。
GB/T 38614适用于平台的研究、设计、生产、检测及使用。
2规范性引用文件
下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。
GB/T 11336-2004直线 度误差检测
GB/T 38616-2020纳米定位与扫描平台术语
3术语和定义
GB/T 38616-2020界定的术语和定义适用于本文件。
4测量条件
平台的测量应满足如下条件:.
a)测量场地应无影响测量精度的灰尘、振动、气流扰动和较强磁场;
b)测量时 的环境温度为(20士1)°C,其变化应不大于0.5 C/h;
c) 测量时的环境相对湿度为(50士5)%;
d)测量前应确认平台无影响测量正确性实施和测量结果的外观缺陷;
e)测量时平台处于正常工作状态。
5测量仪器
本标准中推荐使用激光干涉仪(以下简称干涉仪),角摆偏差也可使用自准直仪,测量仪器精度应满足测量要求。
6测量方法
6.1轴向行程
6.1.1测量步骤
将干涉仪严格对准平台,按照以下步骤进行轴向行程测量:
a)将平台移动至行程反向极限位置,干涉仪测量读数清零;
b)将平台 移动至行程正向极限位置,记录干涉仪测量值;
c)重复步骤a)和步骤b)不应少于3次。

检测流程

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