GB/T 39157-2020.Classification and definition of the technology readiness levels for targets.
1范围
GB/T 39157规定了靶材技术成熟度的术语和定义、等级划分和判定规则。
GB/T 39157适用于靶材技术成熟度评价。
2术 语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
2.1
靶材 target
在溅射沉积技术中的阴极部分。该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式脱离阴极而在阳极表面沉积。
2.2
技术成熟度 technology readiness
技术满足预期靶材应用目标的程度。
2.3
技术成熟度等级 technology readiness levels
用于衡量靶材技术满足预期应用目标程度的尺度。
注:改写GB/T 37264-2018,定义2.2。
2.4
技术参数 technical parameter
针对某一事物在规定的检测条件下得出的相对数据。
注:一般是指设计或生产时做出的性能测试报告。
2.5
靶材样品 target samples
在实验室阶段,根据靶材设计要求而制备的用于测试主要性能、结构和检验.工艺性能的实物,具备了靶材的部分特性。
注:改写GB/T 37264-2018,定义2.3.
2.6
靶材试制品 target developed products
在靶材工程化阶段,考虑最终形式，并在实验室环境或使用环境下,对靶材关键性能和功能进行测试,通过小批量或小规模制备的实物。
注:改写GB/T 37264-2018,定义2.4。
2.7
实验室环境 laboratory environments
实验室的检测和校准设施以及环境条件,用于验证技术原理和使用功能。
2.8
模拟环境 simulation environments
模拟真实使用环境,用以验证靶材的关键性能或其主要组成部分的关键性能。

检测流程

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