标准编号：GB/T 24579-2009酸浸取 原子吸收光谱法测定多晶硅表面金属污染物

标准状态：现行

标准简介：本标准规定了用酸从多晶硅块表面浸取金属杂质,并用石墨炉原子吸收定量检测多晶硅块表面上的痕量金属杂质分析方法。本标准适用于碱金属、碱土金属和第一系列过渡元素如钠、铝、铁、铬、镍、锌的检测。本标准适用于各种棒、块、粒、鋉片形多晶或单晶硅表面金属污染物的检测。由于块、片或粒形状不规则,面积很难准确测定,根据样品重量计算结果。

英文名称： Test method for measuring surface metal contamination of polycrystalline silicon by acid extraction-atomic absorption spectroscopy

中标分类： 冶金>>半金属与半导体材料>>H80半金属与半导体材料综合

ICS分类： 电气工程>>29.045半导体材料

采标情况： MOD SEMI MF 1724-1104

发布部门： 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会

发布日期： 2009-10-30

实施日期： 2010-06-01

首发日期： 2009-10-30

提出单位： 全国半导体设备和材料标准化技术委员会

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