标准简介：本文件规定了电子级三氟化氮的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输贮存及安全信息的要求。本文件适用于以无水氟化氢与液氨为原料制备提纯，或以氟化氢铵为原料制备提纯得到的三氟化氮。

标准号：GB/T 21287-2021

标准名称：电子特气 三氟化氮

英文名称：Electronic specialty gas—Nitrogen trifluoride

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2021-10-11

实施日期：2022-05-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体

替代以下标准：替代GB/T 21287-2007

起草单位：昊华气体有限公司、中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司、西南化工研究设计院有限公司、广东华特气体股份有限公司、天津绿菱气体有限公司、福建久策气体股份有限公司、海宁市英德赛电子有限公司、江西华特电子化学品有限公司、浙江省化工研究院有限公司等

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

发布单位：国家市场监督管理总局.

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