CB3294.6-1987船用二氧化碳灭火
2023-09-01
标准简介:本标准的目的是规定计量系统进行光刻工艺中CD图形尺寸计量精确度的统一方法。本标准不涉及如何用这些计量系统去解决问题,也不涉及工艺中其他影响因素的变化,如大圆片的热处理、曝光机的聚集控制、以及材料等。
标准号:GB/T 17864-1999
标准名称:关键尺寸(CD)计量方法
英文名称:CD Metrology procedures
标准类型:国家标准
标准性质:推荐性
标准状态:现行
发布日期:1999-09-01
实施日期:2000-06-01
中国标准分类号(CCS):电子元器件与信息技术>>微电路>>L56半导体集成电路
国际标准分类号(ICS):电子学>>31.200集成电路、微电子学
替代以下标准:GB/T 9043-1988
起草单位:中国科学院微电子中心
归口单位:全国半导体材料和设备标准化技术委员会
发布单位:国家质量技术监督局
温馨提示:以上内容仅供参考,更多其他检测内容请咨询客服。