GB/T 23562.1-2009冲模钢板下模
2022-06-21
标准简介:本标准规定了硅外延片的产品分类、技术要求、试验方法和检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于在N型硅抛光片衬底上生长的N型外延层(N/N+)和在P型硅抛光片衬底上生长的P型外延层(P/P+)的同质硅外延片。产品用于制作半导体器件。
标准号:GB/T 14139-1993
标准名称:硅外延片
英文名称:Silicon epitaxial wafers
标准类型:国家标准
标准性质:推荐性
标准状态:作废
发布日期:1993-02-06
实施日期:1993-10-01
中国标准分类号(CCS):冶金>>半金属与半导体材料>>H81半金属
国际标准分类号(ICS):29.040.30
替代以下标准:被GB/T 14139-2009代替
起草单位:上海第二冶炼厂
归口单位:全国半导体材料和设备标准化技术委员会
发布单位:国家技术监督局
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