GB/T19199-2015半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法

2024-11-22

标准简介:本标准规定了半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法。本标准适用于电阻率大于106Ω·cm 的非掺杂和碳掺杂半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的测定。测量范围:室 温 下 从 1.0×1015 atoms/cm3 到 代 位 碳 原 子 的 最 大 溶 解 度,77 K 时 检 测 下 限 为4.0×1014atoms/cm3。

标准号:GB/T 19199-2015

标准名称:半绝缘砷化镓单晶中碳浓度的红外吸收测试方法

英文名称:Test methods for carbon acceptor concentration in semi-insulating gallium arsenide single crystals by infrared absorption spectroscopy

标准类型:国家标准

标准性质:推荐性

标准状态:现行

发布日期:2015-12-10

实施日期:2016-07-01

中国标准分类号(CCS):冶金>>金属化学分析方法>>H17半金属及半导体材料分析方法

国际标准分类号(ICS):冶金>>77.040金属材料试验

替代以下标准:替代GB/T 19199-2003

起草单位:信息产业专用材料质量监督检验中心、天津市环欧半导体材料技术有限公司、中国电子材料行业协会

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)与全国

发布单位:国家质量监督检验检疫.

检测流程

检测流程

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