GB/T24469-2009电子工业用气体5N氯化氢

2024-11-26

标准号:GB/T 24469-2009

标准名称:电子工业用气体 5N氯化氢

英文名称:Gas for electronic industry - 5N hydrogen chloride

标准类型:国家标准

标准性质:推荐性

标准状态:作废

发布日期:2009-10-15

实施日期:2009-12-01

中国标准分类号(CCS):化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

国际标准分类号(ICS):化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体

替代以下标准:被GB/T 14602-2014代替

起草单位:北京华宇同方化工科技开发有限公司、光明化工研究设计院、信息产业部标准化四所

归口单位:469-203 全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位:国家质量监督检验检疫.

检测流程

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