GB/T1555-1997半导体单晶晶向测定方法

2023-02-10

标准简介:本标准规定了半导体单晶晶向X射线衍射定向和光图定向的方法。本标准适用于测定半导体单晶材料大致平行于低指数原子面的晶体的表面取向。

标准号:GB/T 1555-1997

标准名称:半导体单晶晶向测定方法

英文名称:Test methods for determining the orientation of a semiconductor single crystal

标准类型:国家标准

标准性质:推荐性

标准状态:作废

发布日期:1997-01-02

实施日期:1998-08-01

中国标准分类号(CCS):冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法

国际标准分类号(ICS):电气工程>>29.045半导体材料

替代以下标准:替代GB 1555-1979;GB 1556-1979;GB 5254-1985;GB 5255-1985;GB 8759-1988;被GB/T 1555-2009代替

起草单位:峨嵋半导体材料厂

归口单位:全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位:国家技术监督局

检测流程

检测流程

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