GB/T31986-2015电子工业用气体八氟丙烷

2024-12-09

标准简介:本标准规定了八氟丙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。本标准适用于六氟丙烯或七氟丙烷氟化制备,并通过精馏、吸附、催化等工艺提纯的八氟丙烷产品,以及碳和氟直接反应法合成的八氟丙烷产品。它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或清洗气体。分子式:C3F8。相对分子质量:188.017(按2011年国际相对原子质量)。

标准号:GB/T 31986-2015

标准名称:电子工业用气体 八氟丙烷

英文名称:Gas for electronic industry—Perfluoropropane

标准类型:国家标准

标准性质:推荐性

标准状态:现行

发布日期:2015-09-11

实施日期:2016-05-01

中国标准分类号(CCS):化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

国际标准分类号(ICS):化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体

起草单位::国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、浙江省化工研究院有限公司、佛山市华特气体有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司等

归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)

发布单位:国家质量监督检验检疫.

检测流程

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