GB/T25915.9-2018洁净室及相关受控环境第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级

2024-12-12

标准简介:GB/T 25915的本部分阐明了在洁净室及相关受控环境中,按粒子浓度来划分固体表面洁净度等级。附录A~附录D中给出了关于表面特性的信息以及推荐的检测和测量方法。 本部分适用于洁净室及相关受控环境中的所有固体表面,如墙壁、顶棚、地板、生产环境、工具、设备和产品。按粒子浓度划分的表面洁净度等级(SCP)限于粒径0.05 μm~500 μm的粒子。 本部分对以下事项未予考虑: ——特定工艺的洁净度及适合性要求; ——表面的清洁步骤; ——材料特性; ——涉及相互结合力或通常与时间和工艺过程有关的事项; ——分级和测试统计方法的选择和使用; ——粒子的其他特性,如静电电荷、离子电荷、微生物等状况。

标准号:GB/T 25915.9-2018

标准名称:洁净室及相关受控环境 第9部分:按粒子浓度划分表面洁净度等级

英文名称:Cleanrooms and associated controlled environments—Part 9:Classification of surface cleanliness by particle concentration

标准类型:国家标准

标准性质:推荐性

标准状态:现行

发布日期:2018-06-07

实施日期:2018-10-01

中国标准分类号(CCS):医药、卫生、劳动保护>>劳动安全技术>>C70工业防尘防毒技术

国际标准分类号(ICS):13.040.35

起草单位:中天道成(苏州)洁净技术有限公司、深圳市吉隆洁净技术有限公司、苏州安泰空气技术有限公司、苏州工业园区嘉合环境技术工程有限公司、苏州净化工程安装有限公司等

归口单位:全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC 319)

发布单位:国家市场监督管理总局.

检测流程

检测流程

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