检测内容

检测范围

检测项目

检测周期

微电机器件在生产、使用和研发等过程中遇到的共振疲劳等问题，中析研究所检测中心可以帮客户进行基于相关技术层面的，有效的分析检测，提供科学严谨公正的检测数据。

参考标准

GB/T 38447-2020 微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法

JIS C5630-12-2014 半导体器件.微电机器件.第12部分:使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯曲疲劳检测方法

NF C96-050-12-2012 半导体器件 - 微型机电装置 - 第12部分: 使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯曲疲劳检测方法.

IEC 62047-12-2011 半导体器件.微电机器件.第12部分:使用MEMS结构共振的薄膜材料的弯曲疲劳检测方法

检测时间周期

一般3-10天出报告，有的项目1天出报告，具体根据共振疲劳测试项目而定。

检测报告有效期

一般共振疲劳测试报告上会标注实验室收到样品的时间、出具报告的时间。检测报告上不会标注有效期。

检测流程

温馨提示：以上内容仅供参考，更多其他检测内容请咨询客服。